उत्पत्ति के प्लेस
Shandong, China
आवश्यकताओं
साफ, सूखी और गैर-संक्षारक
गैस प्रकार
हवा, N2,O2,Co2, वह, H2,CH4, गिरफ्तारी, आदि
पूर्ण range1
(0 ~ 20, 50, 100, 200, 500) sccm
पूर्ण range2
(0 ~ 1, 5, 10, 50, 100, 200, 500, 800,1000,1200) slm
Accuracy1
0-20sccm... 50slm,1% एफएस
Accuracy2
0-100/200slm,1.5% एफएस
Accuracy3
0-50/800/1000/1200slm, 2% एफएस