सामग्री
स्टेनलेस स्टील/सिलिकॉन नाइट्राइड, आदि
सटीकता
0.3% एफ. एस. (30% एफ. एस.) // 1.0% एस. पी. (0.3% एफ. एस.)
गैस की जरूरत
साफ, सूखा और कोई संक्षारक गैस
गैस
हवा, n2, ar, co2, वह, h2, ch4, o2 और इतने पर
प्रवाह सीमा
(0 ~ 10, 100, 200, 300, 500) स्लिम (0 ~ 1, 2, 3, 5, 10,20) स्लिम
खराई, आउटबोर्ड
1x10-9 pa m3/s वह
ऑपरेटिंग आर्द्रता
10% 90% rh (कोई जमे हुए और संघनन)
बिजली की आपूर्ति
Dc24v, रिपल वावेवव 50mv